電(diàn)子束(shù)輻照可(kě)以(yǐ)有(yǒu)效改善提(tí)高(gāo)半导體(tǐ)芯片(piàn)、電(diàn)力電(diàn)子器件、半导體(tǐ)晶圆的(de)相關(guān)電(diàn)學(xué)參數性(xìng)能(néng)，可(kě)用(yòng)于(yú)宇航元(yuán)器件和(hé)核工業輻射环境儀器儀表(biǎo)服(fú)役性(xìng)能(néng)的(de)抗輻射試验研究。